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          TOC超純水 電子級水 超純水設備

          發布時間: 2025/3/17 有效時間: 2026/3/17

          詳細介紹

           

          電子級水概念明晰

          在電子行業、半導體行業中,用水標準是極為嚴格的。在這些行業中,無論是材料、電子元件、電路板,還是設備等的清洗工作,對水質的要求都需要達到高純水的級別。電子級水通常指需電子行業用水,其水中要去除細菌、泥沙、膠體、懸浮物、金屬這些導電雜質。

          其電阻率≥18MΩ/cm(25℃,EW-I)。

               《中華人民共和國國家標準:電子級水(GB/T 11446.1-2013)》將原電子級水級別由5級改為4級,技術內容增加了金屬鎳、硝酸根、磷酸根、硫酸根等指標;增加了有關水的詞匯,本標準由中華人民共和國電子工業部提出。本標準由電子工業部標準化研究所歸口。

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          電子級水檢測指標:

          1、電阻率的測定

          2、全硅的測定

          3、微粒數的測定:0.05μm-0.1μm、0.1μm-0.2μm、0.2μm-0.3μm、0.3μm-0.5μm、>0.5μm

          4、水中痕量金屬檢測項目:銅、鋅、鎳、鈉、鉀、鐵、鉛、氟、氯

          5、細菌個數的測定

          6、痕量陰離子檢測項目:亞硝酸根離子、硝酸根離子、硫酸根離子、磷酸根離子

          7、總有機碳得測定

          8、溴含量測定

          電子級水檢測、高純水檢測、電子工業清洗用水檢測,這些適用于GB/T 11446系列標準。當然除了電子工業,半導體工業,在微電子工業、發電工業、制藥行業以及實驗室等眾多領域的清洗用水,也可以參考GB/T 11446檢測。理論上高純水的電阻率要求達到18.3MΩ.cm.很多時候抽檢檢測只需要檢測電阻率、鈉離子、全硅這三個指標即可。

          超純水之于微電子的重要性

          在微電子行業生產制備中,超純水主要用于清洗硅片,少量用于制備藥液、硅氧化的水蒸氣源、一些設備的冷卻水、制備電鍍液等。微電子行業生產中80%的工序都需要用高純水來清洗硅片,水質的好壞與微電子產品的質量和生產量有很大關系。

          ? 水中的堿金屬(K、Na等)會使絕緣膜產生耐壓;

          ? 重金屬(Au、Ag、Cu等)會使PN結電壓降低;

          ? III族元素(B、Al、Ga等)會使N型半導體特性變差,V族元素(P、As、Sb等)會使P型半導體特性變差;

          ? 水中的細菌經過高溫碳化后的磷(約占灰分的20-50%)會使P型硅片的局部區域變成N型硅片而導致器件性能變壞;

          水中的微粒(包括細菌)如吸附在硅片表面,就會造成電路短路或特性變差







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