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          產品名稱:

          TOC超純水 超純水設備

          發布時間: 2025/2/18 有效時間: 2025/8/18

          詳細介紹

          TOC超純水

          微電子行業制備超純水流程中,因紫外線技術在超純水高品質要求中不引入新的物質,而得到廣泛應用。

          有機物是超純水系統中最難控制的污染,隨著集成電路臨界尺寸不斷縮小挑戰,對超純水中TOC值的要求越來越高,因此,如何配置紫外線,如何確認配置中紫外線設備的有效紫外劑量,進而使TOC去除合格且水中溶解氧不升高,安力斯將為您解決這些運營困擾。

          185nmUV主要用于去除超純水制備過程中的TOC,使出水滿足美國ASTM超純水水質標準及電子工業部電子級水水質標準。

          超純水可以在以下領域使用:
          (1)電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領域。
          (2)化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等。
          (3)單晶硅、半導體晶片切割制造、半導體芯片、半導體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產品及各種元器件等生產工藝。
          (4)高壓變電器的清洗等


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          TOC超純水

          產品規格:

          處理水量

          2~60m3/h

          燈管配置

          12~48支

          燈管類型

          85w/155w(185/254nm雙波段)

          石英套管

          T>80%@185nm

          鎮流器

          50~100%輸出功率可調

          反應器材質

          316L

          潔凈等級

          內外電解拋光、表面光潔度10以上(≤Ra0.2)

          法蘭尺寸

          DN50~DN200

          額定壓力

          PN10

          控制柜等級

          IP55,碳鋼噴塑

          控制系統

          本地/遠程、觸摸屏、連接SCADA系統

          UV強度傳感器

          分辨率0.01mw/cm2







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