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          產(chǎn)品名稱:
          半導(dǎo)體超純水設(shè)備
          產(chǎn)品品牌: 訪問量: 3791
          廠商性質(zhì): 生產(chǎn)廠家 更新時間: 2025-05-28

          半導(dǎo)體超純水設(shè)備主要用于生產(chǎn)超純水過程中去除TOC有機物,降低TOC出水指標,使出水滿足美國ASTM超純水水質(zhì)標準及電子工業(yè)部電子級水水質(zhì)標準。

          產(chǎn)品概述

           半導(dǎo)體超純水設(shè)備在半導(dǎo)體生產(chǎn)中主要用于清洗硅片。少量水用于配制藥劑、硅片氧化的蒸汽源、某些設(shè)備的冷卻水、電鍍?nèi)芤旱呐渲啤.a(chǎn)品的質(zhì)量與產(chǎn)量密切相關(guān)。水中的堿金屬(K、Na等)會使絕緣膜耐壓不良,重金屬(Au、Ag、Cu等)會降低PN結(jié)的耐壓力,III族元素 (B、Al、Ga等)會使N型半導(dǎo)體特性惡化,V族素(P、As、Sb等)會使P型半導(dǎo)體特性惡化。細菌高溫炭化水中的磷(約為灰分的20%~50%)會使p型硅片局部變?yōu)镹型硅片,導(dǎo)致器件性能下降。水中的顆粒,包括細菌,如果附著在硅片表面,會導(dǎo)致短路或性能惡化。可見,超純水在半導(dǎo)體行業(yè)的必要性。

           

            隨著半導(dǎo)體工業(yè)的不斷發(fā)展,對清潔水的電導(dǎo)率、離子含量、TOC、do和顆粒物的要求越來越嚴格。由于超純水在許多指標上對半導(dǎo)體的要求很高,因此半導(dǎo)體行業(yè)的超純水與其他行業(yè)的用水要求不同。半導(dǎo)體行業(yè)對超純水有嚴格的水質(zhì)要求。目前,半導(dǎo)體所用的超純水需要達到的水質(zhì)標準為:我國電子工業(yè)部電子級水質(zhì)技術(shù)標準(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標準),我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標準,國內(nèi)外大規(guī)模集成電路水質(zhì)標準等。

          產(chǎn)品介紹:

          Onyx的EX-UPW-TOC產(chǎn)品主要由高透185nm的紫外燈管,高輸出石英套管,內(nèi)外電解拋光的一體化紫外反應(yīng)器,高度精確的UV強度傳感器及智能自控系統(tǒng)組成。

          185nmUV主要用于生產(chǎn)超純水過程中去除TOC有機物,降低TOC出水指標,使出水滿足美國ASTM超純水水質(zhì)標準及電子工業(yè)部電子級水水質(zhì)標準。

           

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          電子級水UV-TOC控制系統(tǒng)

           半導(dǎo)體超純水設(shè)備產(chǎn)品規(guī)格:

          處理水量

          2~60m3/h

          燈管配置

          12~48支

          燈管類型

          85w/155w(185/254nm雙波段)

          石英套管

          T>80%@185nm

          鎮(zhèn)流器

          50~100%輸出功率可調(diào)

          反應(yīng)器材質(zhì)

          316L

          潔凈等級

          內(nèi)外電解拋光、表面光潔度10以上(≤Ra0.2)

          法蘭尺寸

          DN50~DN200

          額定壓力

          PN10

          控制柜等級

          IP55,碳鋼噴塑

          控制系統(tǒng)

          本地/遠程、觸摸屏、連接SCADA系統(tǒng)

          UV強度傳感器

          分辨率0.01mw/cm2

           

           

           


           

           

           

           

          集成電路超純水應(yīng)用領(lǐng)域:

          1. 半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路板

          2. 電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗

          3. 電子管生產(chǎn)、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液

          4. 黑白顯像管熒光屏的生產(chǎn)、波殼清洗、沉淀、洗膜、管頸清洗

          5. 液晶顯示器的生產(chǎn)、屏面清洗

          6. 集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片

          7. LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏的生產(chǎn)

           

           

           

           

           

           

           

           

           

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