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          產(chǎn)品名稱:
          TOC超純水設(shè)備
          產(chǎn)品品牌: Onyx/安力斯 訪問(wèn)量: 3109
          廠商性質(zhì): 生產(chǎn)廠家 更新時(shí)間: 2025-05-28

          TOC超純水設(shè)備指需電子行業(yè)用水,其水中要去除細(xì)菌、泥沙、膠體、懸浮物、金屬這些導(dǎo)電雜質(zhì)。其電阻率≥18MΩ/cm(25℃,EW-I)。

          產(chǎn)品概述

          TOC超純水設(shè)備

          微電子行業(yè)制備超純水流程中,因紫外線技術(shù)在超純水高品質(zhì)要求中不引入新的物質(zhì),而得到廣泛應(yīng)用。

          有機(jī)物是超純水系統(tǒng)中最難控制的污染,隨著集成電路臨界尺寸不斷縮小挑戰(zhàn),對(duì)超純水中TOC值的要求越來(lái)越高,因此,如何配置紫外線,如何確認(rèn)配置中紫外線設(shè)備的有效紫外劑量,進(jìn)而使TOC去除合格且水中溶解氧不升高,安力斯將為您解決這些運(yùn)營(yíng)困擾。    

          185nmUV主要用于去除超純水制備過(guò)程中的TOC,使出水滿足美國(guó)ASTM超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)及電子工業(yè)部電子級(jí)水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。

          產(chǎn)品介紹:

          EX-UPW-TOC產(chǎn)品系列是一款適用于超純水 (UPW) 制備中對(duì)總有機(jī)碳 (TOC) 進(jìn)行降解的可靠系統(tǒng)。通過(guò)更高185nm穿透率、實(shí)時(shí)在線的紫外線強(qiáng)度監(jiān)測(cè)、本地/遠(yuǎn)程的智能控制,實(shí)現(xiàn)高效、安全可控的總有機(jī)碳 (TOC) 降解。該設(shè)備在超純水制備工藝中,可使超純水TOC降至1ppb以下。

          產(chǎn)品主要組成:高強(qiáng)度185nm的紫外燈管,高輸出石英套管,內(nèi)外電解拋光的一體化紫外反應(yīng)器,高度精確的UV強(qiáng)度傳感器及智能自控系統(tǒng)組成。

           

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          TOC超純水設(shè)備

          產(chǎn)品規(guī)格:

          處理水量

          2~60m3/h

          燈管配置

          12~48支

          燈管類型

          85w/155w(185/254nm雙波段)

          石英套管

          T>80%@185nm

          鎮(zhèn)流器

          50~100%輸出功率可調(diào)

          反應(yīng)器材質(zhì)

          316L

          潔凈等級(jí)

          內(nèi)外電解拋光、表面光潔度10以上(≤Ra0.2)

          法蘭尺寸

          DN50~DN200

          額定壓力

          PN10

          控制柜等級(jí)

          IP55,碳鋼噴塑

          控制系統(tǒng)

          本地/遠(yuǎn)程、觸摸屏、連接SCADA系統(tǒng)

          UV強(qiáng)度傳感器

          分辨率0.01mw/cm2

           

           

           

           

           

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